产品资料

上海金顿电炉半导体快速退火炉 甲酸气化炉

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产品名称: 上海金顿电炉半导体快速退火炉 甲酸气化炉
产品型号: SLK400-50
产品展商: 上海金顿
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简单介绍

半导体快速退火炉以优质加热模块为加热元件,采用双层壳体结构和31段程序控温系统,移相触发、可控硅控制,半导体退火炉炉膛采用不锈钢材料,退火炉双层炉壳间配有风冷系统,能快速升降温,采用外壳整体密封,盖板用硅胶泥密封,炉门配有水冷系统并配有硅胶垫,,用浮子流量计控制进气流量、该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点,是高校、科研院所、工矿、电子企业做高温钎焊、气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火、熔化﹑分析而研制的专用理想设备。


上海金顿电炉半导体快速退火炉 甲酸气化炉  的详细介绍

(半导体)快速退火炉技术规格要求及参数

 

项目

名称

内容

备注

产品名称

(半导体)快速退火炉

 

内胆尺寸

530*430*220mm

外形尺寸(约)

920  *900  * 740   mm

温度范围

室温 MERGEFIELD "温度范围" +450可调(根据加热板实际热承受能力而定)

加热方式

采用铸铝加热板,

温度波动度

±1

温度均匀度

测温探头的精度为±0.5℃,控温点在加热板上部对角两点及测温的侧面一点, (恒温空载状态下)(加热板的温度均匀性±1℃)

升温速率

≤8/min .空载时升温速度:室温到200℃在8分钟内到达;

外壳温度

温升不超过环境+25℃,门周边除外。

电源

三相五线制,380V50HZ

 

总功率

20KW,使用功率16KW

 

         

外壳材料

外层A32.0冷板,

 

内胆材料

采用5mmSUS304不锈钢板制作

 

保温材料

1.    采用1400型纤维毯保温

2.    具有不可燃烧,隔热性强等特点,厚度为60mm

 

烟气隔离罩

炉体左右后三个面用亚克力板围起来,炉体正面做对开式门,四周用玻璃胶密封,开炉时可让烟气有效排除。

 

密封材料

密封条采用直径10mm发泡硅胶条制作,可耐温不变形,门与内胆采用单层密封形式,加强密封效果

 

配两个圆形观察窗,炉门密封圈不易老化和烧坏,真空门装有电脑控制气缸开启和关闭(闭合传感器,确定门关闭)可90度运动

 

 

观察窗

采用圆形观察窗口,观察窗直径80,生产过程一目了然

 

控制系统

加热部分

采用导热板加热,带水冷急速冷却

 

冷却部分

炉口方管及加热板

 

电箱

电箱与烘箱分离安装

 

抽真空

箱体抽气口加装电磁阀阀(带过滤器)直径100*180mm

 

氮气部分

氮气,需加电磁阀控制,气管管径直径8mm,设备侧面设有氮气接口和甲酸接口,并用一个三通的常闭电磁阀,其后再接一个电磁阀,以控制进入腔体的气体量,电磁阀使用方向按客户要求进出气方向安装。

 

 温控部分

1.    采用微电脑智能型温控器

 

控制器

采用台湾琦胜HM-782S触摸屏,精度高,稳定性好,设有手动,自动,工业设定等功能,配日本三菱PLC控制器(FX2N-48MR,与台湾琦胜(型号PLL-2010-002A)可编程控制器通讯控制,能控制显示3个温区并能阶梯式程序升温,预留3个控温探头

流程:合门锁---抽真空---充氮气---自动加热---温度曲线---高温抽真空---真空泵停止---冷却降温---停止充氮---电子门锁---取料完成(供方负责加工,需方负责编程设计)

 

温度传感器

搁板两个感温探头预留在加热板顶部对角处,加热板侧面配一个超温的感温探头,K型探头PID温度控制器需使用3个台湾琦胜温控器,2个程序表,1个显示表

 

自动恒温

1.    温控器可根据用户设定的温度值,采用PID自动计算输出功率的大小,

2.    越接近温度设定值时,输出功率越小,以达到恒温控制的目的,并可节能省电

 

真空度

采用数显ZDZ-52T/E 电阻真空计,传感器采用成都睿宝品牌,10分钟内抽至20pa20分钟内漏率80pa

 

电磁阀

(上海西马特)电磁阀,1:真空挡板阀GDQ-7/KF16KF,2:截止阀(氮气充甲酸、水、空气GDC-A3:压差式充气阀CYC-JQ

 

超温报警

当实际检测温度超过超温保护温控器设定值时,自动切断加热电源,起到双重保护功能

 

 

接地保护

结构件安全接地保护。

 

电源缺相、相序保护

配有相序保护器

 

环境温度

- MERGEFIELD "环境温度" 5-40

 

相对湿度

≤85%RH

 

电源

AC380V±10%50Hz

 

 

免费进行技术培训。

 

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