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晶体退火炉

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产品名称: 晶体退火炉
产品型号: 1800℃晶体退火炉(气氛炉)
产品展商: 其它品牌
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简单介绍

晶体退火炉,是我公司新推出的一款用于晶棒、晶片、新区式炉。该炉采用进口1900型硅钼棒作为发热体和本公司专利的氧化锆内衬炉膛。可在1700℃下连续使用,最高温度达1800℃。侧开式炉门,易于样品装载,并可加装通气口,可在氧气或惰性气氛下操作壳体结构,炉膛内部温度稳定度达±1℃,最高温度为1800℃。真空系统采用特种设计技术,具有操作安全、方便、真空度好,极限真空度可达20kPa,密封性好,真空保持时间长。该气氛炉可充入高压气体,气氛压力极限值0.1MPa,采用独特的密封技术,可长时间保压,操作方便。 采用双层壳体结构和40段程序控温系统,移相触发、可控硅控制,炉膛采用进口1900型氧化铝多晶体纤维材料,双层炉壳间配有风冷系统,能快速升降温,采用外壳整体密封、盖板密封采用硅胶泥、炉门采用硅胶垫并通有水冷系统,气体经过流量计后由后膛进出,晶体退火炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率


晶体退火炉  的详细介绍

SLQ1800系列气氛电阻炉规格型号


型号

炉膛尺寸D×W×H

功率

最高温度

额定温度

加热元件

电压

升温速率

SLQ1800-30

300×150×150mm

8KW

1800

1700

硅钼棒

220V

20/min

SLQ1800-30

300×200×200mm

10KW

1800

1700

硅钼棒

220V

20/min

SLQ1800-30A

400×250×250mm

13KW

1800

1700

硅钼棒

380V

20/min

SLQ1800-40

400×300×300mm

22KW

1800

1700

硅钼棒

380V

20/min

SLQ1800-50

500×300×300mm

28KW

1800

1700

硅钼棒

380V

20/min

备注:可选配系统:1、自动泄压进气系统;2、混气供气系统;3、真空机组;4USB接口,无纸记录仪,随机打印系统;5、坩埚;6、进口1900型材料。

 

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